無(wú)塵凈化工程潔凈室是懸浮粒子濃度受控潔凈的房間、廠房,是進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留于室內(nèi)的粒子特別少,而且室內(nèi)其他參數(shù),如溫度、濕度、壓差等按產(chǎn)品生產(chǎn)的需要受控的房間。潔凈無(wú)塵凈化工程技術(shù)及污染控制技術(shù),它的概念內(nèi)容主要包含:對(duì)加工或處理對(duì)象在加工處理過(guò)程中,由于污染物質(zhì)的存在,影響對(duì)象的成功率。而對(duì)到達(dá)對(duì)象表面的污染物質(zhì)進(jìn)行無(wú)塵凈化工程控制后,能提高對(duì)象的成功率,此有成效控制污染物質(zhì)(亦包括加工或處理對(duì)象帶有對(duì)人體有害的污染物質(zhì),需進(jìn)行處理及隔離)的技術(shù),稱為潔凈無(wú)塵凈化工程技術(shù)或污染控制。
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潔凈無(wú)塵凈化工程技術(shù)與污染物質(zhì)的控制方法,會(huì)因加工處理的對(duì)象而異。如精細(xì)機(jī)械加工,要求控制工件表面的粒子尺寸及濃度,一般東鑫凈化工程會(huì)以控制空氣中的粒子尺寸,及其濃度來(lái)作為解決方案;醫(yī)藥、衛(wèi)生、實(shí)驗(yàn)室等類似場(chǎng)景的無(wú)塵凈化工程潔凈室解決方案,以控制空氣中的粒子尺寸,及其濃度和微生物數(shù)來(lái)解決;而IC電子電路的生產(chǎn),隨著集成度的提高,線寬的減少,需要要求嚴(yán)格控制硅表面的粒子尺寸及其濃度、金屬物質(zhì)、吸附的某些分子以及硅片本身的氧化。因此除了控制潔凈室空氣中的粒子尺寸,及其濃度外,還須控制工藝介質(zhì)如高純水、高純氣體、特種氣體及化學(xué)品(液)內(nèi)的粒子尺寸及其濃度、金屬物質(zhì)及某些氣體不純物質(zhì)。
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無(wú)塵凈化工程潔凈室技術(shù)涉及的內(nèi)容范圍是很廣的,可以是潔凈室技術(shù)的研究、開(kāi)發(fā);潔凈室各系統(tǒng)(壁板系統(tǒng)、吊頂系統(tǒng)、地板系統(tǒng)、空氣凈化及空調(diào)系統(tǒng)),以及其它服務(wù)系統(tǒng)(如潔凈工作服、潔凈室專用抹布等消耗品)的研究、開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、應(yīng)用設(shè)計(jì)、安裝、運(yùn)行及管理等的介紹及經(jīng)驗(yàn)總結(jié);無(wú)塵凈化工程潔凈室技術(shù)正日益被相關(guān)行業(yè)越來(lái)越多的有識(shí)之士所重視和廣泛研究。
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按照產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)“潔凈生產(chǎn)環(huán)境”中的污染物的控制要求、控制方法以及控制設(shè)施的日益嚴(yán)格而不斷發(fā)展。無(wú)塵凈化工程潔凈室技術(shù)廠房的設(shè)計(jì)與施工,是一門(mén)跨學(xué)業(yè)、跨部門(mén)、跨學(xué)科的綜合性的新興分支學(xué)科,它與許多行業(yè)、很多學(xué)科有著千絲萬(wàn)縷的聯(lián)系,又有著自己獨(dú)特的特點(diǎn)。在潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)的相關(guān)產(chǎn)品即象征著它的高品質(zhì)與其高科技。
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