電子無塵車間施工設置真空泵要滿足什么要求呢？

        對于電子無塵車間來說，必不可少的一道工序就是無塵車間施工。但是你們對電子無塵車間施工設置真空泵要怎樣才能滿足要求呢？今天呢，小編就給大家簡單地普及一下。

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      1、使用油潤滑的真空泵應該設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)。

      2、對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下線的20%時，應設置尾氣處理裝飾，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組成。

      3、傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油。并配置氧氣吹掃，氧氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。

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       以上就是小編對電子無塵車間施工設置真空泵要滿足什么要求的介紹，希望小編的介紹會對您有所幫助。