潔凈手術(shù)室凈化工程對(duì)溫度的要求呈現(xiàn)日益減小的趨勢(shì)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,首先與細(xì)胞壁的脂類雙鍵起反應(yīng),穿破細(xì)胞壁,進(jìn)入細(xì)胞壁內(nèi),作用于外殼脂蛋白和內(nèi)面的脂多糖,使細(xì)胞的通透性發(fā)生改變,最后導(dǎo)致細(xì)胞溶解、壞死。
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潔凈手術(shù)室凈化工程對(duì)溫、濕度有著特殊的要求,因?yàn)槎踞t(yī)生不宜多空衣服,而病人手術(shù)部位要暴露出來,手術(shù)室內(nèi)溫度應(yīng)比一般房間溫度高些。而夏季室溫過高又會(huì)引起醫(yī)生和病人出汗,不利于手術(shù)部位的衛(wèi)生和手術(shù)的順利進(jìn)行,氣溫過高甚至?xí)鸩∪撕歪t(yī)生中暑,所以夏季手術(shù)室內(nèi)溫度又應(yīng)比舒適性空調(diào)房間溫度低些。空氣的相對(duì)溫度過大過小都會(huì)給病人和醫(yī)生帶來不舒適感,相對(duì)濕度大還容易給某些細(xì)菌提供迅速繁殖的條件并帶來其它危害。因此,根據(jù)國(guó)外資料統(tǒng)計(jì),手術(shù)室內(nèi)應(yīng)保持的空氣溫度:冬季為24~26℃,夏季23~26℃;全年的相對(duì)濕度為55%~60。
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潔凈手術(shù)室凈化工程濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。
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